RO纯水水质

电导率≤5μS/cm@25C

电阻率≥0.2MΩ.cm@25C

水质标准优于中国国家实验室用水（GB6682-2008）三级水标准；优于普通蒸馏水

超纯水水质

电 导 率

≤0.055μS/cm@25℃

电 阻 率

电阻率18.25ΜΩ.cm@25℃

热    源

﹤0.005Eu/ml

微 生 物

﹤1cfu/ml

总有机碳量

TOC：﹤4ppb

可溶性硅

（以计），mg/L﹤0.01

金属阳离子

含量(ppb)

﹤0.02ppb

阴离子含量

(ppb)

﹤0.05ppb