超纯水水质

电 导 率

电导率≤0.055μS/cm@25℃

电 阻 率

电阻率18.25ΜΩ.cm@25℃

热    源

﹤0.001Eu/ml

微 生 物

﹤1cfu/ml

总有机碳量

TOC：1-3ppb

金属阳离子

含量(ppb)

Fe(铁) ﹤0.005     Cu(铜) ﹤0.005     Al(铝) ﹤0.005     Ni(镍) ﹤0.005

Zn(锌) ﹤0.02      Cr(铬) ﹤0.005     Na(钠) ﹤0.01      K(钾) ﹤0.02

阴离子含量

(ppb)

Clˉ(氯) ﹤0.01           NO2ˉ(亚硝酸根) ﹤0.02  

NO3ˉ (硝酸根) ﹤0.02     SO4²ˉ (硫酸根) ﹤0.01